5、排水設備附件及小型排水構筑物
對于跨度較大的潔凈廠房,其生產排水橫管往往較長,超過了規范允許的長度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設一清掃口,清掃口盡量設在非凈化區,如不能避免要在凈化區設置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。潔凈室盡量不設地漏,若工藝需要設置,亦盡量少設,且應選用材質不易腐蝕,內表面光潔,不易結垢,有密封蓋,開啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標高應低于周圍地面5～10mm。為了防止通風系統正常工作時,室內潔凈空氣通過排水管向外滲漏；而當通風系統停止工作時,室外非潔凈空氣向室內倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個排水點均應設水封裝置,水封深度不得小于50mm。這是維持潔凈室內各項技術指標的一個重要措施。為了進一步防止這一現象的發生,同時也為防蟲防鼠,潔凈區排水出戶管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設水封井。
6、循環水系統
為了保護水資源以及降低生產成本,用于生產設備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質變化不大,經冷卻塔降溫處理后,可重復使用。需要指出的是,由于循環冷卻水在循環過程中會產生蒸發、風吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、腐蝕剝落物及其它雜質,形成沉積物,為提高設備熱交換率及延長設備壽命,循環冷卻水需進行水質處理，較好的處理方法可采用旁濾裝置。
7、消防系統
潔凈廠房是相對密閉的建筑，潔凈室內通道窄而曲折,致使人員疏散和救火都較困難,且由于廠房內有大量的化學物質(包括建筑材料),失火后產生大量有害氣體,因此,配備必要的消防設施尤為必要。潔凈廠房的生產層和技術夾層均應設置室內消火栓系統,消火栓的布置應使潔凈廠房不出現消防死角,且應保證室內任何一點同時使用的水槍數不少于2支,水槍充實水柱不小于10m,每只水槍的出水量不小于5L.s-1。潔凈廠房各場所還須配置建筑滅火器系統,這是撲救初期火災有效的手段。建筑滅火器配置按國標《建筑滅火器配置設計規范》相關條文執行,一般按中危險級考慮其設置位置及數量。