三、潔凈室的節能技術方案 

潔凈室是能量消耗大戶，這是因為要保持潔凈的生產環境所必需的空氣潔凈等級、壓差、溫度、相對濕度要求；防止污染的交叉污染，潔凈室內應根據產品的生產過程的要求排除生產過程中產生的粉塵、熱量、有機溶劑等所需的全室或局部排風裝置，與此同時需向潔凈室內送入相應的或必需的室外新鮮空氣；根據不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數和送風量。

據調查統計，大規模集成電路制造工廠潔凈廠房的凈化空調系統及其制冷機的耗電量約占工廠總耗電量的50%左右。

如上所述，潔凈廠房的耗能量是很大的，若潔凈室精心設計，周密規劃，節約能源、降低能量消耗也是可能的，節能的潛在容量不小。

針對潔凈室、凈化空調系統的運行節能問題，可以有以下幾個解決方案：

1、潔凈廠房內的工藝平面布置

盡可能采用潔凈小室、潔凈工作臺、層流罩、潔凈隧道、微環境等方式，降低別潔凈室面積，是減少能量消耗、節約能源的可行措施。研究證明，與傳統生產環境相比，微環境潔凈廠房的投資可節省40%，單單空氣輸送的費用可節省70%。

2、在進行建筑平面、立面設計時，應努力貫徹節能要求

潔凈廠房的門窗設計的恰當與否，是降低潔凈廠房建筑能耗的重要課題。這里先是控制好窗墻比，按潔凈室的特點盡量減少外墻上的窗面積，其次是門窗構造的氣密性要求和材料選擇 可靠，以確保門窗的保溫（冷）效果和減少冷風滲透，防止“冷橋”現象的發生。

3、降低潔凈室的熱（冷）負荷的技術措施

（1）根據產品生產工藝要求，確定合適的潔凈室內空氣潔凈等級和溫度、相對濕度參數，在滿足生產工藝的前提下，從節約能源的角度出發，按不同工序和房間的不同要求確定空氣潔凈度等級、溫度、相對濕度參數，可能就低時盡可能采用較低的取值。

（2）在產品生產工藝提供者的密切配合下，準確地確定潔凈室需設排風裝置的房間或工序或生產設備的排風量，這是由于潔凈室內排風量的增加，即意味著凈化空調系統的補充新風量增加。廠房設計中有時會出現由于排風量的增加使凈化空調系統的新風量大于規定的新鮮空氣需用量，從而使設計的熱（冷）負荷增加，因此，準確地確定潔凈室內排風量是降低能量消耗的重要技術措施之一。

4、減少凈化空調系統的送風量和降低系統阻力的技術措施

（1）按生產工藝要求的不同空氣潔凈度等級和不同的工作時間、班次合理劃分凈化空調系統。但在制訂方案時應認真考慮減少管線長度，降低風管阻力所必需采取的技術措施，做到既降低用電量又不能增加較多的建造費用。

（2）合理組織凈化空調系統中各種空氣過濾器的設置，對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風集中大小控制送風量等。

（3）凈化空調系統設計應合理利用回風。在產品生產過程不產生有害物或不發生交叉污染時，凈化空調系統在保證新鮮空氣量和保持潔凈室規定的壓差值的條件下，為了減少能量消耗，應盡量利用回風。對于換氣次數大的單向流潔凈室，當空調機房距單向流潔凈室較遠時，可以采用一部分空氣不回機房而直接循環使用，可使能量消耗降低。

5、合理進行凈化空調系統的風管設計

風管布置時應盡量縮短風管長度，減少不必要彎管、附件的設置，簡化風管形狀，努力降低風管系統的阻力，以減少能量消耗。

6、采用變流量控制風量、水量

（1）根據檢測得到的潔凈室內的塵粒數量，或房間壓力值控制調節送風量。采用技術措施，有效的控制不工作的生產工序或房間的低送風量。

（2）根據生產過程的特點，設置檢測、控制房間或設備的排風裝置，按需要控制排風量或開停排風機或排風閥。避免房間或設備不生產時仍開啟排風機或排風閥，消耗電能和增加不必要的送風量。

（3）風機、水泵合理的采用變頻機組，根據送風量、供水量的多少，改變風機、水泵的轉速，降低電能消耗。

（4）凈化空調系統的空調機組采用冷水量、熱水量或蒸汽量的變頻控制。 

四、結語 

本文涉及了空氣潔凈技術中的污染控制方案、研究方案以及節能方案三方面的內容。我國空氣潔凈技術發展自60年代開始以來，目前已具各了相當的實力，在某些理論研究和應用方面已達到了水平。在生活現代化的同時，我們要重視室內空氣的品質。通過減少污染、通風、空氣凈化、消毒、空氣成分的調節與控制等措施，可減少室內空氣污染，減少疾病，提高人們的生活質量。

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